温度的变化常会引起污垢的物理化学状态发生变化，使它变得容易被去除。污垢物理状态的改变指固体污垢被熔化、熔化或气化；化学状态的变化是指固体污垢被热能裂解的分解，污垢改变了原有的分子结构。
用加热或燃烧的方法去除工件表面有机物的污垢，使它分解成二氧化碳等气体，这是一种简单的方法。缺点是易留下灰分残留物，易造成金属的氧化。所以，这种方法适合于去除玻璃和陶瓷表面上的微量顽固有机物污垢。
此外，某些物理强化清洗方法如激光清洗，其清洗机理在本质上也是热能作用的结果。当高能激光照射在污垢上时，它可在10的负11次方s内将光能转变成超高热能，使表面污垢熔化、气化而被除去，可在不熔化金属的前提下，把金属表面的氧化物污垢除去。
 
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