有机磷酸是无机磷酸分子中一个或两个羟基被烃基取代的衍生物。大多数磷酸是易溶解于水的晶体。在工业清洗中应用的有机磷酸主要有羟基亚乙基二磷酸（HEDP）、氨基三甲基次磷酸（ATMP)、乙二胺四甲基次磷酸（EDTMP)，都是利用其螯合性能用于清洗中。
 
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